X射线荧光光谱仪具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。能分析B(5)~U(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。
X射线荧光光谱是一种常用的光谱技术，既可用于材料的组成成分分析，又可用于涂层和多层薄膜厚度的测量等。
X射线荧光光谱仪使用的注意事项
(1)样品检测前,为了减少杂质对结果的影响,应该对样品进行尽可能的清洁处理。选用清洁试剂时,要极为慎重,以免对样品产生影响。
(2)为了防止样品不同区域的状态有所不同,需要对同一样品多点测量,以提高测量的可信度,即注意采样点的合理性。
(3)对同一样品进行多次测试,以证明检测方法的精密度。
(4)初期的数据需要用不同的检测方法和实验进行比对,以保证测量数据的准确性、可靠性。采用有损检测方法(例如化学分析法,这时候需要对不重要的样品进行分析)对比仪器的检测结果。
(5)选取标样时尽可能地与样品的组成相近。
(6)X射线荧光光谱法是一种表面分析技术,其分析结果受样品表面大小、光洁度和几何形状的影响较大。校正公式和校正系数的建立也需要总结。
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