ICP光谱仪是当前光谱分析中迅速灵敏的一种仪器。光谱仪是上述各种仪器的总称。虽然各种光谱仪的形式各异，但均有三大主要部分：一是激光光谱的光源；二是光谱仪系统，使不同波长的光聚焦在仪器上的特定位置；三是用置于焦点上的探测器来量光的强度。近代的光谱仪大都采用微型计算机处理实验结果。
在使用ICP光谱仪的过程中，经常遇到的问题就是点不着火，点不着火的原因主要有哪些呢？
1.连接管道问题
检查光谱仪的炬管雾化室等所有管路连接是否正确，接品处是否漏气，微小的空气进入等子炬可能导致点火失败或者正使用中的等离子体熄灭，或者分析结果差。
2.氩气吹扫
如果炬管、雾化室中的空气还没有被氩气*吹扫出去，*点火时，可能不能点燃等离子体。第二次点火可能会点燃。另外，雾化气流量在点火之前的必须为零。
3.有机蒸气
测完有机样品之后，炬管和雾化室内可能残留一些有机蒸气。这些有机蒸气可能会影响到点火。必要时清洗雾化室。
4.低沸点有机样品
需要较高的功率运行维持等离子体，比如甲醇。
5.等离子气路不通畅
如果ICP光谱仪中气路扭曲变形，对氩气的流动产生阻碍，也影响点火。
6.废液管路堵塞
如果废液管路堵塞，雾化室中的废液将不能有效排出，导致等离子体熄灭或者不能点燃。排液良好的标志是能够看到废液管路中有一段段的气泡随废液流动，否则请调节废液管压力或更换。
7.炬管未装好
炬管没有安装好或漏气都会影响点火。
8.高频线圈与矩管不同心，循环水温度设得太低。
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