电感耦合等离子体光谱仪发生的高频电流，经过耦合系统连接在位于等离子体发生管上端，铜制内部用水冷却的管状线圈上。石英制成的等离子体发生管内有三个同轴氩气流经通道。冷却气(Ar)通过外部及中间的通道，环绕等离子体起稳定等离子体炬及冷却石英管壁，防止管壁受热熔化的作用。
电感耦合等离子体光谱仪的重点维护部件
1 环境
本仪器要求一般室温维持在 20～25 摄氏度之间的一个固定温度，温度变化应小于±1 摄氏度。室内湿度应小于 70%，好控制在 45%~60%之间，并配有空气净化装置。
2 供电线路
为了保证ICP 仪的安全运行，供电线路必须要有足够大的容量，否则仪器运行时线路的电压将过大，影响仪器寿命。电路环境的具体要求请参考《仪器安装条件》。
3 防尘
实验室内需要采用排风机，排除仪器的热量及工作时产生的有毒气 体时，实验室与外部就形成压力差， 实验室产生负压，室外含有大量灰尘的空气从门窗的缝隙中流入室内，大量积聚在仪器的各个部位上，容易造成高压组件或接头打火，电路板及接线、插座等短路、漏电等各种各样的故障，因此，需要经常进行除尘。特别是计算机、电子控制电路、高频发生器、显示器、打印机、磁盘驱动器等，定期拆卸或打开， 用小毛刷清扫，并同时使用吸尘器将各个部分的积尘吸除。对光电倍增管负高压电源线、及计算机显示器的高压线及接头，还要用纱布沾上少许*小心的抹除积炭和灰尘。磁盘驱动器及打印机清出灰尘之后，要在机械活动部件滴加少许仪表油。打印机的打印头还要拆下，用软毛刷刷扫，并用绒布抹净，防止针孔被纸屑堵塞，然后按照说明书调整一定的打印压力。对于仪器除尘，一般由电子，仪修或计算机的专业人员帮助，仪器使用或管理人员如不懂电子知识，不了解仪器结构，不要轻易触动，以免发生意外，除尘应事先停机并关掉供电电源后再进行。
4 雾化器的维护
雾化器是进样系统中脆弱，关键的部份，需要很好的维护和使用。要定期的清理，特别是测定高盐溶液之后，雾化器的顶部，炬管喷嘴会积有盐份，造成气溶胶通道不畅，常常反映出来的是测定强度下降，仪器反射功率升高等。炬管上积尘或积炭都会影响点燃等离子体焰炬和保持稳定，也影响反射功率，
因此，要定期用酸洗，水洗，后，用无水乙醇润洗并吹干，并保持进样系统及炬管的清洁。
5 使用中尽量减少开停机的次数
开机测定前，必须做好安排，事先做好各项准备工作，切忌在同一段时间里频繁开启，仪器频繁开启容易造成损坏，这是因为仪器在每次开启的时候，瞬时电流大大高于运行正常时的电流，瞬时的脉冲冲击，
容易造成功率管、真空电容以及其他芯片的损伤。
6 其他注意事项
(1)进样前进样系统的检查；
(2)测定后进样系统的检查和清洗；
(3) 废液桶中的废液要经常清理；
(4)炬管，雾化器，雾室的清洗；
(5)冷却水的定期更换；
(6) 每次开机前请注意：当等离子气小于 1Mpa，只能点火一小时时，建议请更换气瓶；
(7) 仪器点燃后不能随便调整等离子气的流量计和压力表，否则会烧坏石英炬管；
(8) 仪器点燃后进样毛细管必须放在溶液中，更换溶液时毛细管离开液体(进空气)不能超过 10 秒， 否则会导致熄火；
(9) 如发现石英炬管内很脏时请及时清洗；
(10)拆装炬管、喷雾器、雾室时注意轻拿轻放(石英玻璃制品易碎)。
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